• 標(biāo)配高性能二次電子及4分割背散射探頭

• 一體集成式EDS探頭，成像同時(shí)采集EDS結(jié)果

• 標(biāo)配低真空模式成像功能

• 全自動(dòng)馬達(dá)控制及優(yōu)中心傾轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)樣品臺(tái)

• 配備性能優(yōu)化燈絲

• 直觀友好用戶(hù)界面設(shè)計(jì)

• 低維護(hù)成本

NANOS以高性?xún)r(jià)比提供高分辨率SEM成像和同步快速 元素分析(EDS)功能于一體，安裝簡(jiǎn)單、使用及維護(hù) 方便。

NANOS 臺(tái)式掃描電鏡

NANOS是一款全面且高性?xún)r(jià)比的臺(tái)式掃描電子顯微 鏡（SEM）。它采用zui新技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)，提供快速高 質(zhì)量的SEM成像和元素分析。它的設(shè)計(jì)先進(jìn)且現(xiàn)代， 非常適合科學(xué)研究、產(chǎn)品研發(fā)和工業(yè)用戶(hù)使用。

探測(cè)器

NANOS標(biāo)配二次電子探測(cè)器（SED）和背散射電子 探測(cè)器（BSD）。BSD具有4象限檢測(cè)功能。通過(guò)使 用不同區(qū)域信號(hào)的組合，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的成分或形貌 細(xì)節(jié)du立成像，以及通過(guò)從多個(gè)方向突出顯示表面而 具有“投影成像效果”的圖像。

元素分析

NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線探測(cè) 器(EDS) 。通過(guò)用戶(hù)界面，用戶(hù)可以選擇EDX點(diǎn)分析 或?qū)崟r(shí)元素面掃描。

優(yōu)中心樣品臺(tái)

NANOS是臺(tái)式掃描電鏡中wei一一家標(biāo)配優(yōu)中心設(shè)計(jì) 樣品臺(tái)，能夠通過(guò)用戶(hù)控制界面實(shí)現(xiàn)電動(dòng)XY軸樣品 臺(tái)移動(dòng)，在SEM成像模式下可采用優(yōu)中心設(shè)計(jì)樣品臺(tái) 傾轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)樣品傾斜觀察，且樣品始終保持聚焦?fàn)顟B(tài)， 無(wú)需重新對(duì)焦，用戶(hù)界面實(shí)時(shí)顯示jing確樣品臺(tái)傾斜角 度，zui大傾斜角度為55°。

導(dǎo)航相機(jī)

NANOS在進(jìn)樣時(shí)，標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)會(huì)自動(dòng)對(duì)樣品 進(jìn)行拍照實(shí)現(xiàn)樣品精準(zhǔn)導(dǎo)航。即便在高倍下，用戶(hù)可 以輕松確定樣品位置。

低真空成像

NANOS標(biāo)配低真空成像功能，低真空成像模式能 夠有效減少或消除樣品荷電對(duì)成像的影響。當(dāng)在高 真空模式下觀察不導(dǎo)電的樣品時(shí)，電子積聚在樣品 表面，會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重荷電現(xiàn)象，影響樣品觀察。

用戶(hù)操作界面

NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心， 通過(guò)直觀的軟件界面進(jìn)行簡(jiǎn)單設(shè)置，即可完成樣品拍 攝。該軟件為僅需快速簡(jiǎn)單SEM成像的人提供簡(jiǎn)易模 式，同時(shí)也為深入進(jìn)行樣品分析需求提供gao級(jí)模式。 用戶(hù)可以通過(guò)無(wú)線鼠標(biāo)和鍵盤(pán)完全控制NANOS，并 可以通過(guò)iPad實(shí)現(xiàn)設(shè)備遠(yuǎn)程操控。導(dǎo)航攝像頭 （NavCam）始終處于啟用狀態(tài)，能夠確保用戶(hù)準(zhǔn)確 知道觀察樣品的對(duì)應(yīng)位置。

主要技術(shù)特點(diǎn)

豐富的標(biāo)準(zhǔn)配置： NANOS標(biāo)配二次電子探頭（SED）、四分割高性 能背散射探頭（BSD）、一體式集成EDS和優(yōu)中 心設(shè)計(jì)樣品臺(tái)。

設(shè)計(jì)精良：

NANOS采用了可靠的現(xiàn)代設(shè)計(jì)，并采用了zui新的 成像技術(shù)和成分分析探測(cè)器。

售后維護(hù)方便：

NANOS的設(shè)計(jì)使您可以輕松進(jìn)行維護(hù)和升級(jí)，這 些維護(hù)和升級(jí)可以在您的場(chǎng)所完成，無(wú)需售后工程 師上門(mén)。

可靠性高：

憑借出色的穩(wěn)定性和較小的占地面積，NANOS的 架構(gòu)確保了它可以在非實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中使用，滿足各 種現(xiàn)場(chǎng)工況成像需求。

多操作模式選擇：

在基礎(chǔ)模式下，無(wú)需操作經(jīng)驗(yàn)，NANOS都能在短 時(shí)間內(nèi)完成掃描電鏡成像分析。高級(jí)模式為詳細(xì)分 析提供了進(jìn)一步的功能。

加速電壓

覆蓋1kV至20kV可調(diào)加速電壓，可確保高速EDS分析和 面掃，準(zhǔn)確識(shí)別樣品中的元素成分及含量。

設(shè)備維護(hù)

NANOS的開(kāi)發(fā)以zui佳售后服務(wù)體驗(yàn)為核心，采用可拆 卸面板、模塊化組件設(shè)計(jì) 、整機(jī)僅需一塊控制板和少 量移動(dòng)部件構(gòu)成，可將售后服務(wù)要求降至最低。 NANOS的du特之處在于真空室內(nèi)沒(méi)有移動(dòng)部件，由于 這種巧妙的設(shè)計(jì)，樣品污染的風(fēng)險(xiǎn)大大消除。

電子光源

NANOS采用強(qiáng)大的熱發(fā)射鎢燈絲電子源，由電磁線圈 透鏡和靜電偏轉(zhuǎn)器控制實(shí)現(xiàn)電子束掃描。使用“eco” 設(shè)置，燈絲壽命可以延長(zhǎng)數(shù)百小時(shí)，并且仍然可以生 成高分辨率圖像。任何用戶(hù)都可以du立用很簡(jiǎn)單的對(duì) 準(zhǔn)工具更換燈絲，確保zui短的停機(jī)時(shí)間。無(wú)需等待服 務(wù)工程師來(lái)上門(mén)更換。

技術(shù)參數(shù)