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簡(jiǎn)要描述:奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高度測(cè)量。具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對(duì)零部件和電氣組件的高性能三軸測(cè)量。
奧林巴斯測(cè)量顯微鏡是一種用于進(jìn)行精確測(cè)量和檢查的高性能顯微鏡。它配備了高精度的測(cè)量系統(tǒng)和圖像處理軟件,通常用于工業(yè)制造、材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的精密測(cè)量和分析。
通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)測(cè)量
奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高度測(cè)量。
為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度,采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平,同時(shí)確保更大程度地降低誤差。
花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性
作為高度測(cè)量的先鋒,繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高*度3軸測(cè)量
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隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高*度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高*度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。 |
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的**度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
? 目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
? 由于可測(cè)量的范圍窄,無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一*性同時(shí)測(cè)量。
[STM7解決方案]
共有四種*特的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專y測(cè)量物鏡或?qū)S媒鹣辔镧R,無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式,無(wú)l是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇更佳的觀察方法。
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。
金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀察。
手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦模式的選擇
包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列
對(duì)于Z軸的上下調(diào)焦,有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了**的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 |
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電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。 |
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一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無(wú)法*效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對(duì)于STM7系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作,包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提*效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型: |
用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型: |
控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以更大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無(wú)法保持*,導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)
生變化。
? 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示,保證了能在始終*的照明條件下實(shí)施觀察。 |
物鏡切換時(shí),無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能,可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作,現(xiàn)在就可以省略了。
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可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器,確保能迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
[常見(jiàn)問(wèn)題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí),因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的*小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
無(wú)l是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上,可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在適合位置。當(dāng)用戶站著進(jìn)行測(cè)量時(shí),可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過(guò)數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量,或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí),只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。
計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上 |
計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上 |
高度測(cè)量:聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更**的高度測(cè)量
[[常見(jiàn)問(wèn)題]
進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外,這種測(cè)量方法非常耗時(shí),效率低下。
[STM7解決方案]
具有**的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度**的聚焦系統(tǒng)
通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*全合焦的圖像,也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量,因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
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自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高**的高度測(cè)量
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。
? 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái),使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。
? 很難對(duì)微小的物體聚焦,比如引線。
[STM7解決方案]
快速、**的聚焦和不受操作者主觀影響的測(cè)量
奧林巴斯開(kāi)發(fā)了STM7系列專用的自動(dòng)聚焦單元,該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時(shí),保zhang了**的對(duì)焦重復(fù)性。因此,無(wú)l操作者的經(jīng)驗(yàn)如何,均可以在很短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度**的高度測(cè)量。無(wú)l操作者的經(jīng)驗(yàn)如何,使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可以在z短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度**的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦,而小直徑的激光,也能保證對(duì)微小物體,比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。
單次對(duì)焦模式
執(zhí)行自動(dòng)聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦,即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下,也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察,從而**地提高了Z軸的測(cè)量效率。
拓寬了測(cè)量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器
將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇。 |
MM6-EMO正像單目鏡筒
正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。 |
STM7-FS腳踏開(kāi)關(guān)
實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸,使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置
具有小型,輕便,使用壽命長(zhǎng),功耗低等特點(diǎn)。此外,這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置
SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像??梢詮?3種模式中選擇更佳的照明。 |
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。
STM7-RS100 |
STM7-RS200 |
STM7-RS300 |
測(cè)量支持系統(tǒng)
即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更**的測(cè)量
對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來(lái)說(shuō),看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。為了支持高**、高復(fù)雜性的測(cè)量,奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。
STM7規(guī)格
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小型手動(dòng)鏡架 |
小型電動(dòng)鏡架 |
中型手動(dòng)鏡架 |
中型電動(dòng)鏡架 |
大型手動(dòng)鏡架 |
大型鏡架 |
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顯微鏡 |
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垂直移動(dòng)范圍 |
175 mm |
145 mm |
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*大的測(cè)量高度 |
120 mm(配備測(cè)量物鏡) |
90 mm(配備測(cè)量物鏡) |
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Z軸測(cè)量分辨率 |
0.1 μm |
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Z軸驅(qū)動(dòng)方法 |
手動(dòng)同軸 |
電馬達(dá)驅(qū)動(dòng): |
手動(dòng)同軸 |
電馬達(dá)驅(qū)動(dòng): |
手動(dòng)同軸 |
電馬達(dá)驅(qū)動(dòng): |
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照明 |
LED照明 |
白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明 |
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鏡筒 |
正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100) |
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物鏡 |
測(cè)量顯微鏡用 |
MM6-OB系列 |
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金相顯微鏡用 |
MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 |
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目鏡 |
MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) |
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載物臺(tái) |
測(cè)量范圍 |
STM7-CS50: |
STM7-CS200: |
STM7-CS300: |
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測(cè)量**度 |
STM7-CS50: (3+L/50) μm |
(3+4L/200) μm |
(3+6L/200) μm |
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**度保證重量 |
STM7-CS50: 5 kg |
10 kg |
15 kg |
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計(jì)數(shù)器顯示 |
軸數(shù) |
3軸 |
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單位 |
毫米/微米/英寸/密耳 |
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*小分辨率 |
0.1 μm |
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外形尺寸(寬×長(zhǎng)×高)(mm) |
466 x 583 |
466 x 583 x 811 |
606 x 762 x 651 |
606 x 762 x 811 |
804 x 1024 x 686 |
804 x 1024 x 844 |
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重量 |
約84 kg |
約92 kg |
約152 kg |
約159 kg |
約277 kg |
約284 kg |
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額定功率 |
100-120/220- |
100-120/220- |
100-120/220- |
100-120/220- |
100-120/220- |
100-120/220- |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
倍率 |
1x |
3x |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
||
物鏡 |
|||||||||
測(cè)量物鏡 |
MM6-OB系列 |
59.6 |
76.8 |
65.4 |
50.5 |
- |
- |
- |
|
金相物鏡 |
MPLFLN系列 |
明場(chǎng) |
- |
- |
20.0 |
11.0 |
3.1 |
1.0 |
1.0 |
LMPLFLN系列 |
長(zhǎng)工作距離 |
- |
- |
22.5 |
21.0 |
12.0 |
10.6 |
3.4 |
|
MPLFLN-BD系列 |
明場(chǎng)/暗場(chǎng) |
- |
- |
12.0 |
6.5 |
3.0 |
1.0 |
1.0 |
|
LMPLFLN-BD系列 |
明場(chǎng)/暗場(chǎng) |
- |
- |
15.0 |
10.0 |
12.0 |
10.6 |
3.3 |
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