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簡(jiǎn)要描述:奧林巴斯的近紅外顯微分光測(cè)定儀USPM-RU-W可以高速&高精細(xì)地進(jìn)行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長(zhǎng)的分光測(cè)定。由于其可以很容易地測(cè)定通常的分光光度計(jì)所不能測(cè)定的細(xì)微區(qū)域、曲面的反射率,因此十分適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。 使用一臺(tái)即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過(guò)率、入射角45度反射率的各種分光測(cè)定。
從380nm~1050nm的可視光至近紅外實(shí)現(xiàn)大范圍波長(zhǎng)區(qū)域中的分光測(cè)定奧林巴斯的近紅外顯微分光測(cè)定儀USPM-RU-W可以高速&高精細(xì)地進(jìn)行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長(zhǎng)的分光測(cè)定。由于其可以很容易地測(cè)定通常的分光光度計(jì)所不能測(cè)定的細(xì)微區(qū)域、曲面的反射率,因此十分適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。
實(shí)的測(cè)定功能
使用一臺(tái)即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過(guò)率、入射角45度反射率的各種分光測(cè)定。
測(cè)定反射率
測(cè)定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點(diǎn)的反射率。
物體色的測(cè)定圖例 |
測(cè)定物體顏色根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關(guān)數(shù)值。 |
從受臺(tái)下部透過(guò)Ø2mm的平行光,測(cè)定平面樣品的透過(guò)率。
透過(guò)率測(cè)定光路圖 |
從側(cè)面向45度面反射Ø2mm的平行光,測(cè)定其反射率。
45度反射率測(cè)定光路圖 |
光學(xué)系圖 |
實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定使用平面光柵及線傳感器進(jìn)行全波長(zhǎng)同時(shí)分光測(cè)定,從而實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定。 |
反射率測(cè)定圖例 |
十分適用于測(cè)定細(xì)小部件、鏡片的反射率新設(shè)計(jì)了可以在Ø17~70μm的測(cè)定區(qū)域中進(jìn)行非接觸測(cè)定的專用物鏡。通常的分光光度計(jì)不能進(jìn)行測(cè)定的細(xì)小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實(shí)現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測(cè)定。 |
消除背面反射光的原理 |
測(cè)定反射率時(shí),不需要背面防反射處理將專用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進(jìn)行被檢測(cè)物背面的防反射處理,就可測(cè)定*薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時(shí),在本公司的測(cè)定條件下進(jìn)行測(cè)定。 |
根據(jù)測(cè)定的分光反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析??梢愿鶕?jù)用途選擇*佳的測(cè)定方法。
峰谷法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例 |
峰谷法這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于測(cè)定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡(jiǎn)單地求出。 |
傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例 |
傅里葉轉(zhuǎn)換法這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的周期性計(jì)算膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。難以檢測(cè)出峰值及低谷等時(shí),可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。 |
曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例 |
曲線調(diào)整法這是一種通過(guò)推算測(cè)定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計(jì)算的反射率的差達(dá)到*小的構(gòu)造計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。還可以進(jìn)行不會(huì)出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。 |
高速、高精度地應(yīng)對(duì)多樣化測(cè)定需求。
通過(guò)測(cè)定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進(jìn)行涂層評(píng)價(jià)、物體顏色測(cè)定、膜厚測(cè)定。數(shù)碼相機(jī)鏡片 |
適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定。LED包裝 |
適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定、透過(guò)率測(cè)定。液晶彩色濾鏡 |
適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測(cè)定。棱鏡 |
技術(shù)參數(shù)
反射率測(cè)定 | 透過(guò)率測(cè)定*1 | 45度反射測(cè)定*1 | |||
名稱 | 近紅外顯微分光測(cè)定儀 | 近紅外顯微分光測(cè)定儀用 透過(guò)測(cè)定選配件 |
近紅外顯微分光測(cè)定儀用 45度反射測(cè)定選配件 |
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型號(hào) | USPM-RU-W | ||||
測(cè)定波長(zhǎng) | 380~1050nm | ||||
測(cè)定方法 | 對(duì)參照樣品的比較測(cè)定 | 對(duì)1*0%基準(zhǔn)的透過(guò)率測(cè)定 | 對(duì)參照樣品的比較測(cè)定 | ||
測(cè)定范圍 | 參照下列對(duì)物鏡的規(guī)格 | 約ø2.0mm | |||
測(cè)定 再現(xiàn)性(3σ)*2 |
反射率測(cè)定 | 使用10×、20×物鏡時(shí) | ±0.02[%]以下(430-1010nm)、 ±0.2[%]以下(上述以外) |
±1.25[%]以下(430-1010nm)、 ±5.0[%]以下(左側(cè)記載除外) |
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使用40×物鏡時(shí) | ±0.05[%]以下(430-950nm)、 ±0.5[%]以下(上述以外) |
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厚膜測(cè)定 | ±1% | - | |||
波長(zhǎng)顯示分解能 | 1nm | ||||
照明附件 | 專用鹵素?zé)艄庠础?JC12V 55W(平均壽命700h) | ||||
位移受臺(tái) | 承載面尺寸:200(W)×200(D)mm 承重:3 kg 工作范圍:(XY) ±40mm, (Z)125mm |
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傾斜受臺(tái) | - | 承載面尺寸: 140(W)×140(D)mm 承重: 1 kg 工作范圍:(XT) ±1°, (YT) ±1° |
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裝置質(zhì)量 | 主體:約26 kg(PC除外) | 主體:約31 kg(PC除外)*3 | |||
控制電源箱:約6.7kg | |||||
裝置尺寸 | 主體部位:360(W)×446(D)×606(H)mm | 主體部位:360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
控制電源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
電源規(guī)格 | 輸入規(guī)格:100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
使用環(huán)境 | 水平無(wú)振動(dòng)的場(chǎng)所 溫度:15~30℃ 濕度:15~60%RH(無(wú)結(jié)露) |
*1 選件組件 *2 本社測(cè)定條件下的測(cè)定 *3 裝配透過(guò)率測(cè)定套件與45度反射測(cè)定套件的總重量為33kg。
型號(hào) | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
倍率 | 10x | 20x | 40x |
NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
測(cè)定范圍*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
工作距離 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
樣品的曲率半徑 | ±5mm~ | ±1mm~ | ±1mm~ |
*4 點(diǎn)徑
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