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簡(jiǎn)要描述:正置金相顯微鏡VMX4L大行程移動(dòng)工作平臺(tái),長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測(cè)。
正置金相顯微鏡VMX4L大行程移動(dòng)工作平臺(tái),長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測(cè)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、VMX4L / VMX6L可以實(shí)現(xiàn)X、Y方向105mm-158mm的移動(dòng)范圍。
2、全*設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距專業(yè)金相物鏡,成像效果更z越。
3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。
4、附件齊全,配置完善,可靈活進(jìn)行系統(tǒng)組合與功能拓展。
5、人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)、堅(jiān)實(shí)可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
觀察圖實(shí)例/豐富的觀察方式,滿足您的檢測(cè)需求
DIC微分干涉觀察
在正交偏光的基礎(chǔ)上 , 插入DIC棱鏡,即可進(jìn)行DIC微分干涉觀察。使用DIC技術(shù) ,可以使樣品表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對(duì)比度。可匹配帶DIC功能的物鏡,使整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
1、工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,及大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成像的穩(wěn)定性。
2、前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可以適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。
3、MX6R機(jī)型底座內(nèi)部設(shè)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
1、VMX機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,根據(jù)MX系列機(jī)型配置及功能的不同,可以選擇不同型號(hào)的轉(zhuǎn)換器。
2、PI103C51型:明場(chǎng)5孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽,用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型。
3、PI115C6BDI型:明暗場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽,用于VMX6L/VMX6LT機(jī)型。
不同的照明器可供選擇
1、明場(chǎng)反射照明器:?jiǎn)晤w大功率5W暖色LED照明,適用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型。
2、明場(chǎng)反射照明器:柯拉照明系統(tǒng),帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,中心可調(diào);帶斜照明裝置,適用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型。
3、明暗場(chǎng)反射照明器:帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置,適用于MX6R/MX6RT機(jī)型。
4、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機(jī)型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED, 并帶有N.A.0.5聚光鏡。
5、透射照明與反射照明可獨(dú)立控制,即透反照明可同時(shí)開啟,亦可單獨(dú)開啟。
大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
1、VMX系列機(jī)型采用4〃/6〃平臺(tái)設(shè)計(jì),不僅適用于相應(yīng)尺寸的晶圓及FPD檢測(cè),而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。
2、VMX4L/VMX4LT:4英寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),移動(dòng)范圍105mm×105mm;VMX6L/VMX6LT:6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),反射照明移動(dòng)范圍158mm×158
3、mm,透射照明移動(dòng)范圍100mm×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)。
4、通過使用平臺(tái)適配接口,所有平臺(tái)可在VMX系列機(jī)型之間通用。
超長(zhǎng)工作距金相物鏡
1、全*設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡,采用半復(fù)消色差技術(shù),其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。
2、長(zhǎng)工作距設(shè)計(jì),50X物鏡的有效工作距離7.9mm,100X物鏡的有效工作距離也達(dá)到了 2.1mm,更有20X超長(zhǎng)工作距金相物鏡,大幅拓展了VMX機(jī)型的同步設(shè)計(jì)了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡,適用于 VMX6L 機(jī)型,暗場(chǎng)照明亮度比傳統(tǒng)暗場(chǎng)物鏡提高 2 倍以上。
無限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察頭
1、ETTR型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實(shí)際方位yi致,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于使用者觀察與操作。適用于6英寸移動(dòng)平臺(tái)配合使用。
2、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀察筒,適用于4英寸平臺(tái)配合使用。
3、兩種類型的觀察筒可以在VMX機(jī)型內(nèi)通用。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
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